下载线性运动系统及其监控装置的技术资料

文档序号:26167417

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本申请提供了一种用在线性运动设备(10)中的监控装置(13)。所述监控装置(13)包括:感测模块(130),其感测运动部件(12)沿第一方向的第一加速度(a1),其中第一方向是线性导轨(11)所限定的运动部件(12)在线性导轨(11)上运动...
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