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本发明涉及一种宽响应频带质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件(2)包括：衬底(21)，其上形成一桥孔(211)；和若干敏感丝(20)，平行置于所述桥孔(211)上；所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支...该专利属于中国电子科技集团公司第三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第三研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种宽响应频带质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件(2)包括：衬底(21)，其上形成一桥孔(211)；和若干敏感丝(20)，平行置于所述桥孔(211)上；所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支...