下载一种应用于精准滴灌的晶片式多振子压电液压步进驱动器的技术资料

文档序号:26165080

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本发明公开了一种应用于精准滴灌的晶片式多振子压电液压步进驱动器,包括双作用压电泵、蓄能器、压力表、换向阀和液压缸,所述双作用压电泵包括多个串联的双晶片压电振子,所述双晶片压电振子包括由压电晶片分隔而成的上、下两个泵腔,所述压电晶片振动变形时...
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