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本发明提供一种半导体级直拉复投筒,包括筒本体、钼杆和置于所述筒本体下端的主石英伞,在所述钼杆上且位于所述主石英伞上方还设有副石英伞;所述主石英伞上还设有用于隔离钼杆和硅料并贯穿所述副石英伞设置的石英筒;所述筒本体上端面设有用于调节所述主石英...该专利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体级直拉复投筒,包括筒本体、钼杆和置于所述筒本体下端的主石英伞,在所述钼杆上且位于所述主石英伞上方还设有副石英伞;所述主石英伞上还设有用于隔离钼杆和硅料并贯穿所述副石英伞设置的石英筒;所述筒本体上端面设有用于调节所述主石英...