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本发明是一种高温环境下使用的硬质阳极特殊工艺，工艺参数主要用于提高化学气相沉积关键零部件表面硬质阳极的耐蚀性、耐磨性、耐候性、绝缘性及吸附性；硬质氧化是在低温下得到的，生成的膜层较厚，一般有50‑63um；由于硬质阳极的特殊性，采用不同的温...
该专利属于沈阳富创精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳富创精密设备有限公司授权不得商用。

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