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本发明公开了一种基于二维硒化钴薄膜的室温宽光谱光电探测器及制备方法，利用双离子束溅射技术在衬底上溅射生长一定厚度的钴膜，在此基础上，以氯化钴粉末、硒粉为反应源，以氩气为载气，利用化学气相沉积法制备硒化钴薄膜。在硒化钴薄膜上设置与其欧姆接触的...
该专利属于华东师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过华东师范大学授权不得商用。

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