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高耦合效率的感应式超导边缘探测器制备方法及结构技术
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文档序号:26162806
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本申请涉及一种高耦合效率的感应式超导边缘探测器制备方法及结构。超导量子干涉器件结构具有超导转变温度的第三超导薄膜结构。设置于超导量子干涉器件结构包围形成的环孔中的超导转变边缘结构包括第一超导薄膜结构。当处于超导转变的温度时,光子或其他粒子入...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。
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