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本发明提供托盘预热腔及对应的PECVD设备。PECVD设备包括：加载模块，其用于将硅片放置在托盘中；托盘转送模块，其用于将由加载模块传送的托盘送至托盘预热腔，并接收已预热的托盘；托盘预热腔，其接收和预热托盘至预设预热温度并将托盘传回至托盘转...
该专利属于上海理想万里晖薄膜设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海理想万里晖薄膜设备有限公司授权不得商用。

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