下载一种降低接触电阻的LED外延结构及其生长方法的技术资料

文档序号:26162759

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本发明提供一种降低接触电阻的LED外延结构,包括基板及依次层叠设置在基板上的低温GaN缓冲层、不掺杂Si的GaN层、掺杂Si的GaN层、发光层、掺杂Mg的Al型GaN层、掺杂Mg的GaN层、接触层以及ITO层,在ITO层上设置P电极,在掺杂...
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