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基于微增减材同步复合制造金刚石微光栅的方法及装置，方法是对金刚石薄膜试样表面进行预处理去除表面杂质；在金刚石薄膜试样表面进行低温热丝CVD金刚石沉积，同时在CVD金刚石薄膜表面进行图形化微加工，得到金刚石微光栅。装置有用于进行低温热丝CVD...该专利属于天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)所有，仅供学习研究参考，未经过天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)授权不得商用。