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本发明提供一种微波等离子体‑热丝复合化学气相沉积制备n型掺杂金刚石的装置和方法，装置包括微波等离子体源系统、热灯丝反应室改进系统、真空抽气系统和尾气处理系统。微波等离子体源系统包括微波源、三螺钉阻抗调配器、波导模式转换器、天线单元、波导管以...
该专利属于武汉大学深圳研究院所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学深圳研究院授权不得商用。

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