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本发明涉及一种超滑性能金属/含氢碳复合薄膜，包括沉积在基材或者零部件表面的含氢碳薄膜及沉积在含氢碳薄膜表面的金属薄膜（金、银、铜等），其中碳薄膜含氢量为15~28%的含氢碳薄膜，厚度为800nm，金属薄膜厚度≤100nm。本发明通过等离子化...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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