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本发明公开了一种用于大面积微结构气体探测器的DLC阻性电极原位制备方法，是先将大面积的聚酰亚胺薄膜基材清洁后装夹在样品转架上抽真空至设定值进行加热、轰击和刻蚀预处理，再通过控制溅射阴极靶材前挡板的开合，依次溅射高纯石墨靶沉积50~150nm...该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种用于大面积微结构气体探测器的DLC阻性电极原位制备方法，是先将大面积的聚酰亚胺薄膜基材清洁后装夹在样品转架上抽真空至设定值进行加热、轰击和刻蚀预处理，再通过控制溅射阴极靶材前挡板的开合，依次溅射高纯石墨靶沉积50~150nm...