专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
青岛高测科技股份有限公司
>
一种半导体硅片双面研磨设备制造技术
>技术资料下载
下载一种半导体硅片双面研磨设备的技术资料
文档序号:26156067
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种半导体硅片双面研磨设备,其包括主机,主机包括上下设置的上盘组件及下盘组件,上盘组件包括上研磨盘,下盘组件包括与上研磨盘对向设置的下研磨盘,下研磨盘的底部设置有用于带动下研磨盘平稳转动的静压回转支撑装置,连接静压回转支撑装置设...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。