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一种硅片脱胶传动输送装置制造方法及图纸
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下载一种硅片脱胶传动输送装置的技术资料
文档序号:26149268
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本实用新型涉及硅片生产制造领域的一种硅片脱胶传动输送装置,包括固定在地面上的底座,配合底座设置的主框架,所述底座上配合设置有硅片脱胶装置,对应硅片脱胶装置的主框架上配合设置有输送轨道,输送轨道上配合设置有传动输送装置,传动输送装置上配合设置...
该专利属于扬州南铭新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州南铭新能源有限公司授权不得商用。
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