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本实用新型公开了一种圆形硅片装卸装置，包括安装在底板旋转轴上的底板，底板的顶面的中部通过支撑架安装有纵向方筒组；纵向方筒组的各纵向方筒的正前方设有一硅片放置盒支架，各硅片放置盒支架上安装一敞开端与所述纵向方筒的前端对接的硅片放置盒；硅片放置...
该专利属于马玉水所有，仅供学习研究参考，未经过马玉水授权不得商用。

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