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基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置制造方法及图纸
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下载基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置的技术资料
文档序号:26145449
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本实用新型公开了一种基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置,提出了一种三层结构方案:上层为透明玻璃基底,中层为石墨烯加速度敏感结构,下层为透明玻璃基底。上层透明玻璃基底由锚点、信号引线、栅极电极、引出电极组成,与中层外部支撑框硅结...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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