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热电薄膜氢气传感器制造技术
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下载热电薄膜氢气传感器的技术资料
文档序号:2613863
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本实用新型涉及一款热电薄膜氢气传感器。本实用新型借助射频磁控溅射技术制备出室温下具有较高Seebeck系数的Bi↓[0.5]Sb↓[1.5]Te↓[3]热电薄膜,将催化剂层在热电薄膜一端用导热胶粘结,并用银浆在热电薄膜两端将电导线引出电压信...
该专利属于华东理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东理工大学授权不得商用。
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