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一种压电驱动装置及设备制造方法及图纸
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文档序号:26138612
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本实用新型提供一种压电驱动装置及设备。其中,压电驱动装置包括:液体回路单元、压电致动单元、阀单元及输出单元;液体回路单元,用于形成液体回路,液体回路单元包括连通的回路通道和腔室;其中,腔室内容置压电致动单元;且腔室包括进口和出口;压电致动单...
该专利属于南方电机科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南方电机科技有限公司授权不得商用。
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