下载一种压电驱动装置及设备的技术资料

文档序号:26138612

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本实用新型提供一种压电驱动装置及设备。其中,压电驱动装置包括:液体回路单元、压电致动单元、阀单元及输出单元;液体回路单元,用于形成液体回路,液体回路单元包括连通的回路通道和腔室;其中,腔室内容置压电致动单元;且腔室包括进口和出口;压电致动单...
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