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本实用新型公开一种三氯氢硅的制备系统，包括炉体，所述炉体包括反应段，所述反应段从下到上包括依次连通的三段，分别为主反应段(1)、副反应段(2)和缓冲段(3)，其中，所述主反应段用于进行生成三氯氢硅的主反应，所述副反应段用于进行三氯氢硅的副反...
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