下载一种电极水冷却系统和一种多晶硅还原系统的技术资料

文档序号:26131451

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本实用新型公开了一种电极水冷却系统和一种多晶硅还原系统。该电极水冷却系统包括用于存储电极冷却水的第一喷淋池和用于存储循环水的第二喷淋池。第一喷淋池内设置有第一喷淋泵,第一喷淋泵用于对电极冷却水进行降温;第二喷淋池内设置有第二喷淋泵,第二喷淋...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。

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