下载一种用于真空镀膜的传送机构的技术资料

文档序号:26130223

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本实用新型公开了一种用于真空镀膜的传送机构,包括放置于真空镀膜腔体内部的样品台,安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区的传送机构,固定在所述真空镀膜腔体外部的动力装置和控制装置,所述传送机构包括传动带、传动轮,所述传动轮设有一对,...
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