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本实用新型提供一种用于石英管更换的辅助对准装置，所述石英管呈圆柱形，且安装在管座的圆柱形凹槽内，所述辅助对准结构包括：能够固定在管座上方的安装架，所述安装架上设置有可延伸至所述管座上方的承载架，且所述承载架与所述管座之间设置有能够允许所述石...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

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