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本实用新型涉及一种低温探针台及其测试腔组件，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳和外壳上盖板形成测试腔，外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗，测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针，该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷...
该专利属于郑州科探仪器设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州科探仪器设备有限公司授权不得商用。

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