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本实用新型涉及光伏技术领域，公开了一种适用于大尺寸硅片的炉腔温控装置，包括主体，所述主体的内部设置有空腔，所述空腔内壁的两侧设置有固定座，所述固定座的内部设置有第一加热管，所述主体的外侧设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有固定环，所述固定环与凹...
该专利属于环晟光伏(江苏)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环晟光伏(江苏)有限公司授权不得商用。

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