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电感耦合等离子体激发光源制造技术
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文档序号:2607712
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一种电感耦合等离子体激发光源,它包括箱体、半饱和电抗器、高频振荡电路、电流反馈取样电路、晶闸管控制整流电路等,其中,高频振荡电路中的振荡槽路是采用了电感L1先串接一电容C0,再并联一可变电容C1来提高频率至40.68兆赫,调节三极管栅极回路...
该专利属于夏义峰所有,仅供学习研究参考,未经过夏义峰授权不得商用。
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