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本发明题为“用于光机械装置的反馈冷却和检测”。本发明提供了一种用于调制光信号以降低热噪声并跟踪检测质量块组件的机械共振的光机械装置，该光机械装置包括电路，该电路被配置用于：从发光装置接收光信号，并且调制光信号以移除热噪声并使用冷却反馈信号和...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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