下载一种直拉法单晶硅生长炉的技术资料

文档序号:26057148

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本发明涉及直拉单晶硅技术领域,且公开了一种直拉法单晶硅生长炉,包括固定箱和高温计,所述固定箱内腔左部固定安装有保温筒一,所述保温筒一的内壁固定安装有加热元件,所述固定箱的顶部右侧固定安装有籽晶。通过生长箱的设置,使得对多晶硅的融化与单晶硅体...
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