下载熵稳定陶瓷薄膜涂层,其制备方法以及涂覆有该涂层的元件的技术资料

文档序号:26057134

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本发明公开了一种制备熵稳定陶瓷薄膜涂层的方法,包括制备由多种金属元素形成的第一层,以及使第一层与阴离子反应从而将第一层的至少一部分转变成第二层。本发明还公开了一种熵稳定陶瓷薄膜涂层以及涂覆有熵稳定陶瓷薄膜涂层的元件。...
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