下载一种微流控芯片、其制作方法及微流控装置的技术资料

文档序号:26049371

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本发明公开了一种微流控芯片、其制作方法及微流控装置,包括:相对设置的第一基板和第二基板,在第一基板指向第二基板方向上依次层叠设置的第一电极层、电致变色层、绝缘层和第二电极层;绝缘层包括多个贯穿绝缘层厚度方向上的微流通道;电致变色层在第一基板...
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