下载叠层体及半导体装置的技术资料

文档序号:26045339

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提供一种电特性及可靠性良好的叠层体。本发明的一个方式是一种叠层体,包括:绝缘体;导电体;以及绝缘体与导电体之间的第一氧化物,其中,第一氧化物包括c轴取向的第一结晶区域,并且,第一结晶区域的c轴与绝缘体一侧的第一氧化物的面大致垂直。本发明的一...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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