下载激光处理装置和半导体器件制造方法的技术资料

文档序号:26045330

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

根据一实施方式的激光处理装置(1)包括激光照射单元(20)和能够使基板(31)漂浮和运送的运送台(40)。运送台(40)包括:激光照射区域(50),在该区域中,从激光照射单元(20)照射的激光(21)将基板(31)照射;基板运送区域(60)...
该专利属于株式会社日本制钢所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日本制钢所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。