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本发明公开了一种半导体激光器的制作方法,该制作方法包括:在衬底上依序层叠形成第一光限制层和有源层;在有源层上形成厚度小于限光最低厚度的第二光限制层,其中,限光最低厚度指的是能够对光进行限制的光限制层的最低厚度;在第二光限制层上形成由透明导电...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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