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本发明涉及一种热释电灵敏元的制备方法，包括步骤：（1）减薄后的热释电晶体在清洗后进行退火处理；（2）采用真空蒸镀工艺，分别在热释电晶体的两侧面镀制上电极和下电极；（3）采用真空蒸镀工艺，通过在镀膜夹具下方安装图形化工装，以在热释电晶体的上电...
该专利属于上海翼捷工业安全设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海翼捷工业安全设备股份有限公司授权不得商用。

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