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本发明公开了一种压电式感应单元及其应用的水听器，涉及到微电子机械传感器领域。本发明感应单元结构包括了真空振动腔体、支撑层、压电种子层、压电主层和电极层等，实现在半导体层面上构造出能将水声压力或振动转化为电荷变化的感应单元，为了增加感应单元的...
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