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叠层物品的检验设备制造技术
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文档序号:2602593
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一种光投射系统,能投射出一对共平面的光束,令此光束从一个夹持器,例如装半导体圆片的盒子的一侧通过盒子可以确定盒中各圆片的位置。盒子一侧上的反射器将该对光束都反射回去,使其通过盒中并射到盒子另一侧的分立的光电检测器上。盒子运动时,圆片将光束遮...
该专利属于易通公司所有,仅供学习研究参考,未经过易通公司授权不得商用。
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