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本发明涉及用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件，其具有衬底表面(10a)、在衬底表面(10a)上张紧的膜片(12)，该膜片具有可翘曲的无支撑区域、所连接的杠杆元件(16a至16d)和连接在该杠杆元件上的电极(18a、18b、44)，其...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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