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本实用新型涉及质谱设备的流体过滤系统和质谱设备，其中流体过滤系统包括第一滤芯、第二滤芯、进气阀、排气阀和泄污阀，进气阀分别与第一滤芯和第二滤芯连接，用于向第一滤芯和第二滤芯送入带有杂质的流体，两个出气端不可同时打开；排气阀分别与第一滤芯和第...
该专利属于苏州微木智能系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微木智能系统有限公司授权不得商用。

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