下载FOF工艺支撑定位机构与FOF工艺定位装置的技术资料

文档序号:26003371

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本实用新型公开了FOF工艺支撑定位机构与FOF工艺定位装置。上述的FOF工艺支撑定位机构包括支撑部件及连接所述支撑部件的吸附部件,所述支撑部件的一侧开设有凹槽,所述吸附部件连接于所述凹槽的槽底,所述吸附部件的相对两侧分别与所述凹槽的侧壁之间...
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