下载一种硅片静电消除仪的技术资料

文档序号:26003323

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本实用新型提供一种硅片静电消除仪,其特征在于:包括承载主体和若干放电嘴,所述承载主体呈条状结构,所述承载主体上表面活动的设置有固定板,所述放电嘴活动的设置在承载主体下表面,且规则的排成两列,所述承载主体的下表面还安装有自平衡传感器,且位于每...
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