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一种片上微型电子源、电子源系统、电子设备技术方案
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文档序号:26002074
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本申请公开了一种片上微型电子源、电子源系统、电子设备,其中片上微型电子源包括衬底,衬底上形成有驱动电极对,驱动电极对存在间隙,间隙中形成有电子隧穿结,驱动电极对可以用于驱动电子隧穿结发出电子束,在衬底上方可以固定聚焦电极,聚焦电极上形成有纵...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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