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辉光等离子体稳定制造技术
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文档序号:25996912
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提供了一种用于稳定来自等离子体的辉光放电的方法、装置和系统。还提供了用于处理来自稳定的辉光等离子体的具有增强的信号到噪声恢复的光学信号的方法、装置和系统。第一方法包括:使用交流激励电压在等离子体单元内产生电场以激励单元中的粒子,从而从所述等...
该专利属于仕富梅集团公司所有,仅供学习研究参考,未经过仕富梅集团公司授权不得商用。
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