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一种对制作高温超导器件的材料进行表面改性的方法技术
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文档序号:25993640
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本发明提供了一种对制作高温超导器件的材料进行表面改性的方法,采用平行栅将离子束变为平行离子束进行入射,轰击制作高温超导器件的材料表面,然后对采用平行离子束轰击后的材料进行退火处理,离子束能量为100‑1000eV,离子束轰击时间为3‑60分...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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