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微机电系统(MEMS)反射镜的同步技术方案
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下载微机电系统(MEMS)反射镜的同步的技术资料
文档序号:25987443
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本公开的实施例总体上涉及用于微机电系统反射镜的同步的方法和系统。一种多反射镜系统,包括第一反射镜,其被配置为围绕第一轴线振荡;第二反射镜,其被配置为围绕第二轴线振荡;第一驱动器,其被配置为驱动第一反射镜的振荡,检测第一反射镜的第一过零事件,...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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