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粒子尺寸测定装置及测定方法制造方法及图纸
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文档序号:25986408
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提供一种粒子尺寸测定装置及测定方法,能够测定更小的粒子尺寸。用于测定粒子的尺寸的粒子尺寸测定装置(1)具备:第一光源(2),其向包含粒子的试料(9)照射平行光(10);第一摄像装置(4),其配置为隔着试料而与第一光源大致对置,用于拍摄试料;...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。
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