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提供来一种能在大气压力下以高分辨率高速观察样品表面的外形的原子力显微镜（ＡＦＭ）及其驱动方法，该ＡＦＭ包括光束源单元、光束扫描器、扫描探头单元（或矩阵），光束检测单元、驱动控制单元及显示单元。该驱动方法包括有步骤：响应参照信号振动设在各该扫...
该专利属于株式会社大宇电子所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社大宇电子授权不得商用。

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