下载一种解析度测试装置的技术资料

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本实用新型涉及一种解析度测试装置。该装置包括待测器件、测试图案和反射镜,所述反射镜以设定角度设置于所述待测器件和所述测试图案之间连线的一侧,所述设定角度使得所述待测器件能够通过所述反射镜获取完整的所述测试图案。...
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