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一种激光退火装置(100)具有向载物台(20)的照射区域R1射出多个激光束LB的激光照射装置(10)，激光照射装置具有：激光装置，其射出激光束LA；以及聚光单元30，其具有微透镜阵列(34)和掩膜(32)，接受来自激光装置的激光束，并在照射...
该专利属于堺显示器制品株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过堺显示器制品株式会社授权不得商用。

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