温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种用于合成半导体多晶材料的反应管装置，包括均为水平设置的石墨管和热解氮化硼材料管，热解氮化硼材料管的外径接近石墨管的内径，热解氮化硼材料管位于石墨管内，且热解氮化硼材料管的底部外管壁与石墨管的底部内管壁相接触。石墨管的顶部管...
该专利属于北京国晶辉红外光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京国晶辉红外光学科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。