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一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自...
该专利属于株式会社荏原制作所;株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所;株式会社东芝授权不得商用。

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